В научной лаборатории Ульяновского государственного университета состоялся запуск в работу нового оборудования. Установка плазмохимического травления — это современная, надежная, высокопроизводительная платформа, на базе которой реализованы процессные модули всех ключевых типов плазменных процессов травления и осаждения материалов. Подробнее: http://www.ulsu.ru/21910/